Držalo za rezine CVD SiC

Pri epitaksiji sestavljenih polprevodnikov – kot so izdelava GaN na Si, GaN na safirju ali MicroLED – je nosilec rezine (včasih imenovan s SiC prevlečen susceptor) ključni del. Nahaja se med grelnikom in rezino ter upravlja večino prenosa toplote.

Zakaj inženirji izberejo nosilce rezin SiC podjetja Semixlab?

● Čistost 7-nines (skupne kovine < 5 ppm) – Uporabljamo lastniški postopek CVD (ki ga je razvil prof. Shaolong He), ki ohranja sledove kovin, kot so Fe, Cu in Ni, zelo nizke. To pomeni manj napak v kristalni mreži med rastjo občutljivega GaN.

● Dobra toplotna enakomernost (±1 %) – CVD SiC film ima visoko toplotno prevodnost (~300 W/m·K). Toplota se hitro in enakomerno širi, kar pomaga zmanjšati upogibanje rezine in toplotne napetosti.

● Močna odpornost proti koroziji H₂ in NH₃ – Za razliko od golega grafita ali kremena naša gosta prevleka SiC ostane inertna pri visokotemperaturnih tokovih amoniaka in vodika (900–1200 °C). Manjše luščenje delcev, del pa traja 3–5-krat dlje.

● Ujemanje CTE – Posebna gradientna prehodna plast ohranja koeficient toplotnega raztezanja med premazom in grafitom dobro usklajen. Brez delaminacije ali razpok, tudi med hitrim zagonom in ustavljanjem.

Ključni scenariji uporabe

● GaN-na-Si / GaN-na-safirni epitaksija – pomembna za napajalne naprave in RF čipe, kjer lokalna toplotna stabilnost neposredno vpliva na električno mobilnost plasti GaN.

● MicroLED in napredni zasloni – Zahtevajo izjemno visoko čistost in zelo malo delcev, kar naš nosilec zagotavlja za LED matrike z visoko gostoto.

● Rast kristalov SiC (PVT) – Deluje kot visokozmogljiv nosilec za izvorni material SiC in lahko podpira hitrosti rasti do ~1.46 mm/h.

● Hitra termična obdelava (RTP) – Držalo lahko prenese ekstremne toplotne šoke med hitrimi cikli žarjenja brez mikrorazpok.

Prednosti Semixlaba

Nismo le dobavitelj – trudimo se biti pravi partner za vaše potrebe na področju termičnega polja. Semixlab so ustanovili raziskovalci s Kitajske akademije znanosti in upravljamo več kot 12 namenskih proizvodnih linij CVD. Imamo tudi lastno 5-osno CNC obdelavo, tako da lahko izdelamo držala za rezine s tolerancami do ±0.01 mm. To pomeni, da se prilegajo neposredno v vaše globalne komplete orodij brez dodatnega prileganja.