Kvarčni deli

Kremen je še vedno povsod v predelavi polprevodnikov. Ni nov, je pa zanesljiv in večina tovarn pozna njegovo delovanje. Dokler je čistost nadzorovana, dobro deluje v korakih difuzije, oksidacije in čiščenja.

Veliko kremenčevih delov gre v sisteme peči ali orodja PECVD. Glavno pričakovanje je stabilnost – ne nujno dolga življenjska doba, ampak predvidljiva zmogljivost. To je običajno dovolj dobro za številne standardne procese.

Seveda ima kremen svoje omejitve. V določenih pogojih se lahko hitreje obrabi, zlasti v primerjavi s SiC. Ker pa ga je relativno enostavno dobiti in ni predrag, ga ljudje še vedno precej pogosto uporabljajo.