EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC prevlečen grafitni grelec za MOCVD
Semixlabov MOCVD grelec s prevleko iz grafita SiC je visokozmogljiv grelni nosilec, zasnovan za postopke izdelave polprevodnikov, ki uporablja kemično nanašanje s paro (CVD) za tvorbo enakomerne, goste prevleke silicijevega karbida (SiC) na površini grafitnega substrata ultra visoke čistosti.
Opis
Podrobnosti
Grelnik MOCVD s prevleko iz grafita SiC združuje odlično toplotno prevodnost grafita z visoko temperaturno in korozijsko odpornostjo prevlek SiC ter se pogosto uporablja v opremi za kemično nanašanje iz kovinsko-organskih par (MOCVD) za zagotavljanje stabilnosti in visoke čistosti v procesih rasti rezin.
Značilnosti izdelka grelnika MOCVD s prevleko iz grafita SiC
1. Ultra visoka čistost in kemijska stabilnost
Čistost ≥99.99995 %: Naš grafitni grelec je pripravljen s kloriranjem pri visoki temperaturi s postopkom CVD, ki učinkovito preprečuje kontaminacijo s kovinskimi nečistočami in izpolnjuje zahteve po ultra čistih okoljih pri proizvodnji polprevodnikov.
Protikemična korozija: Gosta in visoko trdotna prevleka SiC (trdota po Vickersu 2500-2800) se lahko upre eroziji kislin, alkalij, soli in organskih topil, kar podaljša življenjsko dobo opreme v okolju korozivnih plinov.
2. Odlična odpornost na visoke temperature
Visoka temperaturna stabilnost: v inertni atmosferi lahko prenese do 3000 °C, v vakuumu stabilno delovanje do 2200 °C in v oksidativnem okolju 1600–1700 °C, kar je primerno za ekstremne pogoje reakcijske komore MOCVD.
Nizek koeficient toplotnega raztezanja (4.5 x 10⁶K-¹): Ta lastnost grafitnega grelnika MOCVD učinkovito zmanjšuje razpokanje ali luščenje premaza zaradi temperaturnih sprememb in zagotavlja strukturno celovitost pri dolgotrajnih toplotnih ciklih.
3. Optimizirano delovanje upravljanja s toploto
Visoka toplotna prevodnost (200–300 W/mK): Visoka toplotna prevodnost grafitnega MOCVD grelnika omogoča hiter in enakomeren prenos toplote za doseganje enakomerne porazdelitve temperature površine rezine (±1 °C), s čimer se učinkovito izboljša enakomernost epitaksialne plasti.
Zasnova laminarnega polja za plinski tok: Po nenehnih tehnoloških iteracijah in nadgradnjah gladkost površine (Ra ≤ 0.8 μm) in optimizacija geometrije našega grelnika MOCVD zagotavljata enakomerno porazdelitev reaktivnih plinov in zmanjšujeta neenakomernost nanašanja, ki jo povzroča turbulenca.
Tehnični podatki
Primerjava tehničnih parametrov in prednosti
| značilnosti | Grelniki Semixlab s prevleko iz SiC | Konvencionalni grafitni grelniki |
| Najvišja delovna temperatura (inertna) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Kemična čistost | ≥ 99.99995% | ≤99.99 |
| Toplotna prevodnost | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Lepljenje prevleke | 415 MPa (4-točkovno upogibanje) | 100-200 MPa |
| Tipična življenjska doba (cikli) | > 500 ciklov | 100-200 ciklov |
konkurenčna prednost
Zakaj Semixlab?
Prilagoditev: Semixlab je zavezan k zagotavljanju prilagojenih izdelkov in tehničnih storitev svojim strankam. Podpiramo prilagoditev nestandardnih velikosti (do premera 360 mm) in debelin premazov (20–500 μm), da zadostimo širokemu naboru potreb opreme.
Globalni certifikat: Naš grelec iz grafita s prevleko SiC je delno skladen s standardom ISO 9001, naši izdelki pa se izvažajo predvsem v Evropo in Združene države Amerike, pa tudi na Japonsko in v Južno Korejo, kjer je razmerje med ceno in zmogljivostjo precejšnje.
Tehnična sinergija: Semixlab že dolgo tesno sodeluje z vodilnimi raziskovalnimi ustanovami na Kitajskem in uporablja patentirane tehnologije premazov (kot je postopek SiC³ podjetja CGT Carbon) za optimizacijo gostote premazov in odpornosti na toplotne šoke.
