EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Mehka filc visoke čistosti
Semixlabov visoko čist mehak filc je posebej zasnovan za zahtevne visokotemperaturne aplikacije toplotnega polja v proizvodnji polprevodnikov. Ta mehak filc, izdelan iz visokokakovostnih ogljikovih prekurzorjev in prečiščen z napredno obdelavo, zagotavlja izjemno nizke ravni nečistoč, odlično toplotno izolacijo in izjemno strukturno prilagodljivost. Njegova fleksibilna struktura omogoča natančno prileganje kompleksnim zasnovam toplotnega polja, kar omogoča optimizirane temperaturne gradiente in stabilne procesne pogoje. Veselimo se vašega povpraševanja.
Opis
Zakaj je čistost pomembna v termičnih poljih? Pri proizvodnji tretje generacije?
Polprevodniki (SiC/GaN) in tradicionalni izolacijski filc z visoko vsebnostjo pepela (nad 500 ppm) pri temperaturah nad 1600 °C sproščajo kovinske nečistoče. To povzroča napake v kristalni mreži in zmanjšuje izkoristek rezin.
Mehki filc podjetja Semixlab gre skozi naš ekskluzivni postopek kemičnega čiščenja pri visoki temperaturi, s čimer se skupna raven nečistoč zniža na manj kot 5 ppm. To ne zagotavlja le čistega rastnega okolja, temveč tudi izjemno toplotno stabilnost, potrebno za dolgociklično rast kristalov.
Semixlab Edge
Smo več kot le dobavitelj – smo vaš partner za visokotemperaturna območja. Ustanovili so nas raziskovalci podjetja CAS in blestimo v kombiniranju izolacijskih rešitev s CVD prevlekami (TaC/SiC). Ne dobavljamo le izolacijskega filca; optimiziramo vaše celotno toplotno polje z uporabo grafitnih grelnikov in poroznega TaC za zmanjšanje porabe energije. Naša lastna 5-osna CNC obdelava omogoča izdelavo prilagojenih, vnaprej sestavljenih kompletov, ki se natančno ujemajo z vašo zasnovo peči brez napak.
Tehnični podatki
| Nepremičnine | Premium filc na osnovi PAN | Visokokakovosten filc na osnovi viskoze |
| Skupne nečistoče | ≤5 ppm (GDMS) | ≤ 10 ppm |
| Vsebnost ogljika | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Nasipna gostota | 0.10 - 0.15 g/cm³ | 0.08 - 0.12 g/cm³ |
| Termična prevodnost (@1000 °C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09–0.13 W/m²·K |
| Maks. servisna temperatura | 2800 °C (inertno/vakuumsko) | 2600 °C (inertno/vakuumsko) |
| Standardna debelina | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Aplikacije
Kritične aplikacije
Preizkušena zmogljivost:
Naš filc, zasnovan za rast SiC in silicija (PVT/CZ), deluje kot toplotni stabilizator za preprečevanje kristalnih dislokacij. Pri MOCVD/epitaksiji (združljiv z Aixtron, NuFlare) ostane inerten v korozivnih tokovih H2/NH3, kar preprečuje difuzijo nečistoč. Pri vlečenju vlaken in sintranju safirja njegova lastnost ničelnega odplinjevanja zagotavlja celovitost vakuuma in preprečuje izgubo izkoristka.
konkurenčna prednost
Core prednosti
Ultra visoka čistost (<5 ppm), testirana z GDMS. Strogo nadzorovane Al, B, Fe in druge ključne nečistoče za preprečevanje navzkrižne kontaminacije pri epitaksialni rasti.
Odlična toplotna izolacija: toplotna prevodnost le 0.12 W/m·K pri 1000 °C, kar zmanjšuje toplotne izgube in nadzoruje toplotni gradient znotraj ±1 °C.
Nizko izločanje delcev: Optimizirana obdelava vlaken in površin zmanjšuje prah v vakuumskih ciklih in ščiti grafitne CVD (TaC/SiC) susceptorje in grelnike.
Visoka fleksibilnost in prileganje: mehka in stisljiva za 360° brezšivno ovijanje na kompleksnih pečeh, kar preprečuje toplotno puščanje zaradi toge izolacije.
FAQ
Optimizirana pogosta vprašanja
V: Kako mehka filc Semixlab izboljša življenjsko dobo grafitnih grelnikov?
A: Z zagotavljanjem stabilnejšega toplotnega ščita naš mehki filc zmanjša obremenitev moči, ki jo grelec potrebuje za vzdrževanje ciljnih temperatur, s čimer upočasni sublimacijo ogljika in oksidacijo grafitnih grelnih elementov.
V: Ali se lahko vaš filc uporablja v okoljih z visokim pretokom plina?
O: Da. Za procese z visoko hitrostjo plina (kot je MOCVD) priporočamo naš filc visoke gostote na osnovi PAN ali hibridno rešitev z grafitno folijo, ki preprečuje erozijo vlaken in zagotavlja ničelno kontaminacijo z delci.
Naše storitve
