EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Konzolna vesla iz SiC
Semixlabove konzolne lopatice iz SiC so natančno izdelane komponente, zasnovane za ravnanje z rezinami v visokotemperaturnih polprevodniških procesih, kot so epitaksija, oksidacija in CVD. Izdelane so iz visoko čistega rekristaliziranega ali CVD silicijevega karbida, te lopatice pa ponujajo odlično toplotno prevodnost, nizko toplotno raztezanje in izjemno kemično odpornost. Njihova lahka in visoko trdnostna zasnova zagotavlja dimenzijsko stabilnost in zaščito rezin med hitrim toplotnim ciklom. Semixlab, ki mu zaupajo vodilni svetovni proizvajalci polprevodnikov, ponuja popolnoma prilagojene rešitve, hitro dostavo in dolgo življenjsko dobo izdelkov, zaradi česar je idealen partner za napredne potrebe proizvodnje polprevodnikov.
Opis
Ⅰ. Konzolne lopatice iz visoko čistega SiC za natančno ravnanje z rezinami
Konzolne lopatice iz SiC so ključne komponente, ki se uporabljajo v opremi za termično obdelavo za ravnanje z rezinami med epitaksijo, difuzijo in oksidacijo pri izdelavi polprevodnikov. Zaradi svojih izjemnih toplotnih in mehanskih lastnosti so idealne za visokotemperaturna in korozivna okolja v čistih prostorih.
Ⅱ. Pregled izdelka in funkcionalne prednosti
1. Izjemne lastnosti materiala za visokozmogljive aplikacije
Semixlabove SiC konzolne lopatice so izdelane iz visoko čistih, rekristaliziranih silicijevega karbida (R-SiC) ali CVD SiC prevlek, ki zagotavljajo odlično toplotno prevodnost (do 120 W/m·K), nizko toplotno razteznost (~4.0 x 10⁻⁶/K) ter izjemno odpornost proti koroziji in toplotnim šokom. Te lastnosti zagotavljajo stabilno oporo rezin med visokotemperaturnimi procesi, kar zmanjšuje tveganje deformacije rezin ali kontaminacije.
2. Vrhunska dimenzijska stabilnost in ravnost
Z minimalnim upogibanjem tudi pri temperaturah nad 1400 °C konzolna zasnova zagotavlja enakomerno namestitev in prenos rezin, kar je ključnega pomena za enakomernost epitaksialne plasti. Nizka masa in visoka togost SiC izboljšata prepustnost sistema in temperaturni odziv med hitro termično obdelavo.
3. Čistost površine, primerna za čiste sobe
Zaradi goste in gladke površinske obdelave SiC lopatice Semixlab zmanjšujejo nastajanje delcev in sproščanje plinov. To je še posebej pomembno v okoljih, ki zahtevajo stopnjo čistoče razreda 1 ali ISO 14644-1 razreda 2.
4. Prilagojeno za epitaksialne, difuzijske in CVD peči
Naše konzolne lopatice iz SiC se pogosto uporabljajo v pečeh MOCVD, LPCVD in oksidacijskih pečeh ter so združljive z vodilnimi znamkami opreme, kot so ASM, TEL in Veeco. Zasnovane so za optimalno toplotno enakomernost in mehansko natančnost, kar pomaga zagotoviti večji izkoristek in manjše variacije procesa.
Ⅲ. Zakaj izbrati Semixlab?
Nudimo inženirske storitve po meri, vključno z:
● Prilagoditev izdelka glede na velikost, strukturo in kakovost materiala
● Optimizacija premaza za toplotno in kemično odpornost
● Hitra izdelava prototipov in zmogljivosti proizvodnje majhnih serij
● Tehnično svetovanje in potrditev zasnove
Kot vodilni kitajski proizvajalec in tovarna konzolnih lopatic iz SiC, Semixlab vztraja pri zagotavljanju prilagojenih tehnoloških in proizvodnih rešitev. Ne glede na to, ali želite optimizirati obstoječi postopek toplotne obdelave, kupiti visokozmogljive nadomestne dele ali skupaj razviti prilagojene rešitve iz SiC, vam bo Semixlab nudil tehnično in dostavno podporo.
Aplikacije
● Nosilci epitaksijskih rezin MOCVD
● Lopatice oksidacijske in difuzijske peči
● Sistemi za nalaganje rezin v orodja LPCVD/CVD
● Prilagojene nosilne roke susceptorjev za rast sestavljenih polprevodnikov
Naše storitve
Trgovina z izdelki Semixlab
