EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Vakuumska vpenjalna glava iz porozne keramike
Hitra detajl:
1. Druga imena: Porozna keramična vakuumska vpenjalna glava, porozna SiC vpenjalna glava, porozna vpenjalna glava.
2. Uporaba: Visokozmogljiva vakuumska adsorpcijska naprava, zasnovana za natančno adsorpcijo in fiksacijo rezin in ingotov, primerna za proizvodnjo polprevodnikov, rezanje rezin, natančno obdelavo, visokotemperaturno epitaksijo, jedkanje, ionsko implantacijo in druge scenarije.
3. Osnovni parametri:
Nastavljiva poroznost (10–200 μm).
Ultra visoka temperatura (≤1600 °C), odlična odpornost na toplotne udarce.
Adsorpcijski vakuum: standardni -90 kPa (lahko se prilagodi na 100 kPa).
Velikost priseska: Podpora za rezine velikosti 4/6/8/12 palcev, velikost ingota je mogoče prilagoditi.
Opis
Keramična vakuumska vpenjalna glava je visokozmogljiva vakuumska adsorpcijska naprava, zasnovana za natančno adsorpcijo in fiksacijo rezin in ingotov. Uporablja kompozitno strukturo iz poroznega keramičnega in kovinskega zunanjega obroča, v kombinaciji s prilagojeno zasnovo zračnih kanalov in por za doseganje enakomerne porazdelitve adsorpcijske sile in visoke stabilnosti. Primerna je za proizvodnjo polprevodnikov, rezanje rezin, natančno obdelavo in druge scenarije, podpira visokotemperaturno okolje z visoko hitrostjo gibanja ter lahko izpolnjuje zahteve glede združljivosti različnih velikosti rezin/ingotov.
Prilagojena storitev
Prilagoditev velikosti in obremenitve
Optimizacija stomat in dihalnih poti
Prilagoditev posebnemu okolju
Primer oblikovanja
Aplikacije
Izdelava polprevodnikov
Epitaksialna rast: Stabilna adsorpcija SiC rezin pri visokih temperaturah, da se prepreči upogibanje in kontaminacija.
Litografija in jedkanje: Natančno pozicioniranje na hitro premikajoči se platformi (pospešek ≤10G) za zagotovitev natančnosti grafične poravnave.
Obdelava ingotov
Rezanje in brušenje: Adsorpcija težkih kristalnih ingotov (kot so safirni ingoti, ingoti silicijevega karbida) za preprečevanje razpok na robovih zaradi vibracij.
Znanstvene raziskave in posebna tehnologija
Visokotemperaturno žarjenje: porozne priseske iz silicijevega karbida delujejo dolgo časa pri 1600 °C, brez deformacij in onesnaženja zaradi odzračevanja.
Vakuumsko nanašanje: Zasnova z visoko zrakotesnostjo, združljiva z okoljem PVD/CVD votline.
konkurenčna prednost
Jedrna struktura in prednosti materiala
1. Večplastna kompozitna zasnova
Površinska plast: porozna keramika (neobvezno porozni silicijev karbid ali porozni grafit), nastavljiva odprtina (10–200 μm) za zagotovitev enakomernega prenosa adsorpcijske sile na površino rezine in preprečevanje lokalne koncentracije napetosti.
Matrica: Visoko tog kovinski okvir (nerjaveče jeklo ali aluminijeva zlitina) za zagotavljanje strukturne opore in zrakotesnosti.
Dihalne poti in pore: Notranja mreža natančno obdelanih dihalnih poti in enakomerno porazdeljenih mikropor omogoča hitro vakuumsko ekstrakcijo (adsorpcijska sila do -90 kPa) in takojšnje sproščanje.
2. Primerjava lastnosti materialov
| Material | Porozni silicijev karbid | Porozni grafit |
| Temperaturna odpornost | Ultra visoka temperatura (≤1600 °C), odlična odpornost na toplotne udarce | Srednje visoka temperatura (≤800 °C), boljša toplotna prevodnost |
| Kemična obstojnost | Odpornost na kislinsko in alkalno korozijo, odpornost na plazemsko korozijo | Odporno na neoksidirajoče pline, nižji stroški |
| Primeren prizor | Visokotemperaturna epitaksija, jedkanje, ionska implantacija | Rezanje, brušenje, pakiranje rezin |
3. Ključni parametri delovanja in tehnični parametri
| Opis | Opomba |
| Velikost vpenjalne glave | Podpora za rezine velikosti 4/6/8/12 palcev, velikost ingota je mogoče prilagoditi |
| loading | Največja obremenitev posamezne plošče 50 kg (višina ≤ 300 mm) |
| Delovna temperatura | Porozni silicijev karbid: -50 °C~1600 °C; Porozni grafit: -50 °C~800 °C |
| Adsorpcijski vakuum | Standardno -90 kPa (prilagodljivo na -100 kPa) |
FAQ
V: Kako izbrati vpenjalno glavo iz poroznega silicijevega karbida in poroznega grafita? Katere so glavne razlike med vpenjalno glavo iz poroznega silicijevega karbida in poroznega grafita pri visokotemperaturnih procesih? Kako izbrati pravi material za scenarij uporabe?
A: Porozna vpenjalna glava iz silicijevega karbida:
Temperaturna odpornost: lahko stabilno deluje pri ekstremno visokih temperaturah ≤1600 °C (kot je SiC epitaksija, visokotemperaturno žarjenje), odlična odpornost na toplotne udarce, primerna za območja z drastičnimi temperaturnimi nihanji.
Odpornost proti koroziji: odporna na močno kislinsko, alkalno in plazemsko erozijo, primerna za jedkanje, ionsko implantacijo in druge korozivne plinske procese.
Porozni grafitni vpenjalnik:
Toplotna prevodnost: Višja toplotna prevodnost (200–400 W/m·K), primerna za scenarije, ki zahtevajo hiter prenos toplote (kot je odvajanje toplote pri rezanju rezin).
Gospodarstvo: Nizki stroški, primerno za okolje s srednjo temperaturo ≤800 °C (kot je pakiranje, mletje).
Predlogi za izbiro:
Če je procesna temperatura > 800 °C ali je potrebna odpornost proti koroziji, je prednostnejši porozni silicijev karbid; če si prizadevamo za stroškovno učinkovito in nizko procesno temperaturo, lahko izberemo porozni grafit.
