SiC keramika

SiC keramika se vse pogosteje uporablja v polprevodniški opremi, predvsem zato, ker bolje vzdržuje zahtevnejše pogoje. Ko temperatura naraste ali postopek postane agresivnejši, lahko materiali, kot sta kremen ali silicij, začnejo kazati omejitve, in tu običajno pride v poštev SiC. V procesih v peči, kot sta oksidacija ali difuzija, deli, kot so ladjice ali vesla iz SiC, običajno trajajo dlje. Ohranjajo svojo obliko in ne povzročajo veliko onesnaženja, tudi po dolgih obdobjih. Zaradi tega ljudje pogosto preidejo s kremena, zlasti ko postane vzdrževanje prepogosto.

Za jedkanje se SiC pogosto izbere preprosto zato, ker dlje preživi plazmo. Razlika v življenjski dobi v primerjavi s silicijevimi deli je opazna v mnogih nastavitvah, čeprav je še vedno odvisna od natančnega postopka. Pomaga tudi pri nadzoru delcev, ki postane bolj občutljiv, ko se vozlišča krčijo. SiC boste videli tudi kot susceptorje v MOCVD ali CVD. V teh primerih gre manj za "trdnost" in bolj za ohranjanje stabilnega temperaturnega obnašanja. Poleg tega se pojavi v delih komore, kot so obloge ali tuši, včasih pa tudi pri ravnanju s komponentami.